燒結(jié)就是把印刷到硅片上的電極在高溫下燒結(jié)成電池片，最終使電極和硅片本身形成歐姆接觸，從而提高電池片的開路電壓和填充因子2個關(guān)鍵因素參數(shù)，使電極的接觸具有電阻特性，達到生產(chǎn)高轉(zhuǎn)效率電池片的目的，燒結(jié)過程中有利于PECVD工藝所引入－H向體內(nèi)擴散，可以起到良好的體鈍化作用。
燒結(jié)方式：高溫快速燒結(jié)
加熱方式：紅外線加熱
燒結(jié)過程
1、燒結(jié)是一個擴散、流動和物理化學(xué)反應(yīng)綜合作用的過程。在印刷狀況穩(wěn)定的前提下，溫區(qū)溫度、氣體流量、帶速是燒結(jié)的三個關(guān)鍵參數(shù)。
2、由于要形成合金必須達到一定的溫度，Ag、Al與Si形成合金的穩(wěn)定又不同，所以必須設(shè)定不同的溫度來分別實現(xiàn)合金化。
3、將印刷好的上，下電極和背場的硅片經(jīng)過網(wǎng)印刷機的傳送帶傳到燒結(jié)爐中，經(jīng)過烘干排焦、燒結(jié)和冷卻烘干排焦、烘干排焦燒結(jié)和冷卻過程來完成燒結(jié)工藝最終達到上下電極和電池片的歐姆接觸。
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在網(wǎng)帶的上、下都裝有加熱帶，由溫控儀控制其溫度。目的是將印刷有漿料硅片烘干，并使?jié){料內(nèi)絕大部分焦油揮發(fā)出來。如果溫度設(shè)置不合理，不能使大部分焦油從漿料中揮發(fā)出來，剩下的焦油在進入下一區(qū)域時會對燒結(jié)的效果影響很嚴重，對轉(zhuǎn)換率有高達0.2%的影響。為了保證設(shè)備安全，在每個區(qū)域都設(shè)有2個熱電偶，一個用于溫度控制，一個用于過溫保護。
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為了減少腔室內(nèi)熱量的損失，在設(shè)備強勢內(nèi)部的四周安裝上隔熱板，并在腔室外的兩邊裝上了鋁的隔熱反射板，讓整個腔室始終保持一個穩(wěn)定的溫度，有利于工藝的穩(wěn)步進行。對流器：對流器：為了能讓從漿料中揮發(fā)的焦油全部從抽風管道中抽走，設(shè)計了一個對流加熱器。從烘干區(qū)上部的對流加熱器中吹出溫度受控的氣體，吹到腔室中，在從烘干區(qū)的兩頭將氣體抽出，保證從硅片揮發(fā)出來的焦油被對流加熱器吹出的熱氣帶出腔室內(nèi)，而不會導(dǎo)致硅片揮發(fā)出來的熱焦油在機器出口處冷凝而回流到設(shè)備里。對流盒子內(nèi)置在加熱盒子里，經(jīng)過過濾的大氣被熱空氣風扇吸入到一個溫度可控的加熱器中，最后進入到腔室內(nèi)。但為保證安全操作，如果吸入的空氣總量在增加，相應(yīng)離開的總量必須是合適的。
③快速加熱燒結(jié)
根據(jù)工藝要求，需要此腔室的燈管能提供很高（高到1000℃）的溫度，并且能在高溫下工作。一般用石英玻璃管加熱器。此種設(shè)備用氣流把快速加熱箱分成4獨立的加熱系統(tǒng)，以保證每個腔室溫度的獨立性，可形成一個一個的溫度階梯，從而使最后一個溫區(qū)的溫度在很短時間達到一個很高的溫度。這樣設(shè)計還可以是每個隔離區(qū)域橫向位置溫度的不均勻性在一個很小的范圍內(nèi)。在此腔室內(nèi)每個抽風口都特別設(shè)計了一個帶加熱裝置的文氏閥，能保證腔室內(nèi)產(chǎn)生的廢氣流很快離開腔室，避免在燒文氏閥結(jié)溫區(qū)廢氣對硅片的污染，還能讓產(chǎn)生的廢氣流不在管道口處冷凝。對于溫度的測試，2個熱偶被安裝在加熱區(qū)域。一個用于溫度控制，一個用于超溫報警。最后一個溫區(qū)中安裝了2個熱偶，于皮帶正上方20mm處，他們反映了形成歐姆接觸的共晶溫度的真實值，他們的值可以在加熱菜單看到，可以直接了解內(nèi)部的實際溫度。為了能讓溫度急劇下降，在高溫區(qū)出口處的側(cè)壁、上下部分都裝有水冷系統(tǒng)。為了保證大部分熱量都輻射到腔室內(nèi)，在全部的加熱盒子周圍都覆蓋上保溫層，在外層還覆蓋有雙層的鋁反射板，有效延長了燈管的使用壽命。
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冷卻盒子是一個可循環(huán)的盒子，為了冷卻電池片和皮帶，運送冷卻水的管道安裝在皮帶的上部和下部。冷卻風扇分別安裝在循環(huán)水管道的上方和下方。風速可以調(diào)整，上部的風扇將周圍的空氣通過冷卻管道送到硅片和皮帶上，下面的風扇吸走通過皮帶周圍和硅片底部的空氣。
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